imec

本站 8 月 8 日消息，比利时微电子研究中心 imec 当地时间昨日宣布，在其与 asml 合作的 high na euv 光刻实验室首次成功利用 high na euv 光刻机曝光了逻辑和 dram 的图案结构。在逻辑图案方面，imec