定向自组装
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消息称英特尔考虑引入 DSA 技术辅助 High NA EUV 光刻，提升图案质量
本站 4 月 19 日消息，综合外媒 semianalysis 和 the elec 报道，英特尔考虑在未来的 high na euv 光刻节点导入定向自组装 dsa 技术进行辅助。
DSA是一项被认为可部分取代传统光刻的新型图案化技术之一
本站 4 月 19 日消息，综合外媒 semianalysis 和 the elec 报道，英特尔考虑在未来的 high na euv 光刻节点导入定向自组装 dsa 技术进行辅助。
DSA是一项被认为可部分取代传统光刻的新型图案化技术之一
