dsa

本站 4 月 19 日消息，综合外媒 semianalysis 和 the elec 报道，英特尔考虑在未来的 high na euv 光刻节点导入定向自组装 dsa 技术进行辅助。
DSA是一项被认为可部分取代传统光刻的新型图案化技术之一