本站 5 月 28 日消息,根据韩媒 business korea 报道,台积电首席执行官魏哲家撇开了 5 月 23 日自家举办的“台积电 2024 技术研讨会”,前往荷兰访问位于 eindhoven 的 asml 总部,以及访问德国 ditzingen 的工业激光专业公司 trumpf。
ASML 首席执行官 Christophe Fouquet 和 TRUMPF 首席执行官 Nicola Leibinger-Kammüller 通过社交媒体透露了魏总秘密出访的行踪。
Fuke执行长表示:“我们向魏总介绍了我们的最新技术和新产品,包括高数值孔径比(High NA)EUV 设备将如何实现未来的半导体微处理技术”。
5月14日报道称,台积电张晓强博士于5月14日在阿姆斯特丹举办的技术研讨会上表示:“ASML 的 High-NA EUV 太贵了,我非常喜欢 High-NA EUV 的能力,但不喜欢它的价格”。
台积电正考虑将于2026年下半年量产的1.6纳米产品A16之后的工艺引入High NA EUV设备,同时在此之前使用现有Low NA EUV设备。
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